化学腐蚀法制备多晶硅的绒面

• 作者: 卢景霄 孙晓峰 李维强 王海燕 谷锦华
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 化学腐蚀 绒面 多孔硅 减反射膜
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 138-141
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 2160字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2004.02.003

摘要

为了降低光在多晶硅表面的反射,采用化学腐蚀法在其表面制备了绒面.根据反射光谱的测试结果,研究了不同多晶硅绒面的形貌特征及光学特性.在适当的腐蚀液中制备了3×3cm2、5×5cm2和10×10cm2多晶硅绒面.10×10cm2多晶硅绒面,在300～1100nm波长范围内的加权反射率的最好结果为5.2%,表面织构均匀,这一结果可以和具有双层减反射膜的多晶硅表面的反射率相比拟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海燕	郑州大学物理工程学院	62	372	11.0	16.0
2	卢景霄	郑州大学物理工程学院	100	570	12.0	17.0
3	孙晓峰	郑州大学物理工程学院	8	74	3.0	8.0
4	李维强	郑州大学物理工程学院	9	82	4.0	9.0
5	谷锦华	中国科学院半导体研究所	3	47	2.0	3.0