位置敏感探测器受杂光干扰特性的研究

• 作者: 何瑾 左保军 张凤生 范志刚
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感探测器 抗干扰 杂光 半导体
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 442-444
• 页数: 3页
• 分类号: TN36
• 字数: 2146字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.04.023

摘要

介绍了位置敏感探测器(PSD)的结构、工作原理及在稳定背景杂散光干扰下的位置输出方程,同时介绍了消除稳定背景杂散光的方法、措施和实验结果.结果表明,线位移测量分辨力可达到2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左保军	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	15	166	10.0	12.0
2	范志刚	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	42	468	12.0	20.0
3	何瑾	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	13	123	6.0	11.0
4	张凤生	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	1	12	1.0	1.0