人工晶体生长设备真空系统的优化设计

• 作者: 封先锋 张群社 李留臣 蒲红斌 陈治明
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 密封 漏气率 密封结构
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 1041-1043
• 页数: 3页
• 分类号: TFS06.9
• 字数: 2015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.035

摘要

真空系统的应用在现代科研生产领域中起着越来越重要的作用,越来越被人们所重视.真空系统设计的好坏,直接影响着晶体生长设备的成功与否,而提高真空系统的密封性,降低真空系统的漏气率是提高真空性能的主要措施.本文简要阐述了提高真空系统的密封性和降低漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,从而提高了真空系统的密封性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈治明		83	498	11.0	18.0
2	李留臣		25	153	8.0	11.0
3	蒲红斌		33	119	7.0	9.0
4	封先锋		22	106	7.0	9.0
5	张群社		9	71	5.0	8.0