用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计

• 作者: 任荆学 尤大伟 李安杰 黄小刚
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频 离子源 感应耦合等离子体
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 451-454
• 页数: 4页
• 分类号: O461.1
• 字数: 3607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.06.015

摘要

采用射频宽束离子源进行离子束辅助镀膜可以获得高性能的光学薄膜,已越来越得到人们的共识.本文对射频感应线圈的匹配、起弧及三栅离子光学的关键技术进行了重点考虑，并获得了稳定运行的高性能离子源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤大伟	中国科学院空间科学与应用研究中心	6	29	3.0	5.0
2	黄小刚	中国科学院空间科学与应用研究中心	11	88	7.0	9.0
3	李安杰	中国科学院空间科学与应用研究中心	4	29	3.0	4.0
4	任荆学	中国科学院空间科学与应用研究中心	2	10	1.0	2.0