光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究

• 作者: 丁桂兰 吴波 崔宇明 张燕君 钟娟娟 陈才和
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 声光调制 声表面波(SAW) 相位调制 叉指换能器 氧化锌薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 651-654
• 页数: 4页
• 分类号: TN818
• 字数: 2056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.04.031

摘要

提出一种新型声光波导相位调制技术,用于光电集成M-Z光波导干涉型加速度计的信号调制.相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上,工作波长为1.3 μm.主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计,结果为:氧化锌薄膜尺寸5×0.8×0.003 mm,叉指换能器叉指对数N=17,中心距l=27.19 μm,中心频率f0=48 MHz,中心指长L0=4.46 mm.