两种薄层电阻测试系统探针游移误差的对比分析

• 作者: 刘东升 刘新福 孙以材
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 方形四探针 直线四探 ,薄层电阻 探针游移
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 5-10
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 3727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2004.01.002

摘要

从理论上分析方形四探针和直线四探针薄层电阻测试方法中探针游移所造成的系统偏差,推导出计算游移偏差的公式,并作图展示探针游移后的电阻与理想值之比的分布情况,分析了两种四探针测试方法出现最大误差的情况.用方形四探针测试方法不仅比普通直线四探针测试方法所测量的微区小,而且方形四探针测量的游移偏差小于直线四探针测量所产生的偏差.经试验发现,实际测试过程中,方形四探针只要在合理压力范围内,探针游移完全在合理范围内,能够保证测试的准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子技术与材料研究所	117	1247	18.0	31.0
2	刘新福	河北工业大学微电子技术与材料研究所	39	354	9.0	17.0
3	刘东升	河北工业大学微电子技术与材料研究所	11	159	4.0	11.0