BaTiO3/SrTiO3多层膜的制备及其介电性质

• 作者: 宁兆元 葛水兵
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 多层膜 介电性质 脉冲激光沉积
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 711-712,715
• 页数: 3页
• 分类号: TM282
• 字数: 2285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.06.016

摘要

采用脉冲激光沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了BaTiO3/SrTiO3 (BTO/STO)多层膜.XRD结果表明:多层膜呈现出明显的(110)择优取向,与Ba0.5Sr0.5TiO3单层膜相比,多层膜的相对介电常数得到了明显的增强,而介电损耗仍然保持在较低的水平.室温下频率为10kHz时,BTO/STO(n=6)多层膜的相对介电常数为506,而介电损耗仅为0.033.薄膜的C-V特性研究表明:多层膜呈现出较好的电容调谐度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁兆元	苏州大学物理系	70	528	12.0	18.0
2	葛水兵	苏州大学物理系	14	103	6.0	10.0