等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究

• 作者: 李昕欣 熊斌 王跃林 陆德仁 鲍海飞
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳氟聚合物 薄膜 纳米摩擦特性 微机电系统
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 304-307
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.3
• 字数: 1925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2004.04.004

摘要

利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合物薄膜的摩擦力信号明显较弱,薄膜的纳米摩擦特性同其厚度密切相关;碳氟聚合物薄膜在同Si3N4针尖接触过程中可向针尖表面转移,从而对针尖起修饰作用,以减轻微观摩擦磨损.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
2	鲍海飞	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	21	31	3.0	5.0
3	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
4	陆德仁	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	11	105	7.0	10.0
5	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0