温梯法白宝石晶体的表面形貌研究

• 作者: 刘世良 周国清 周圣明 彭观良 徐军 李抒智 王银珍 苏凤莲 邹军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 白宝石 温梯法 气相传输平衡 多孔表面 GaN 多孔衬底
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 882-886
• 页数: 5页
• 分类号: O771
• 字数: 2971字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.002

摘要

本文采用导向温梯法(TGT)生长[0001]方向的白宝石晶体,利用气相传输平衡(VTE)技术对晶体表面进行处理,发现双面抛光的C面白宝石晶片高温下与富锂(Li2O蒸气)气氛发生反应,表面生成一层γ-LiAlO2,随着VTE反应温度从750℃下降到730℃,γ-LiAlO2晶核的颗粒也随着减小,在730℃时已在1μm以下,经稀盐酸(HCl)腐蚀后形成多孔的表面,此方法有望制备出用于外延GaN的多孔衬底.