掺杂对TiO2湿敏薄膜特性的改进

• 作者: 李旦振 林永钟
• 来源期刊: 福建师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 湿敏 薄膜 二氧化钛 氟化镁
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TN304|TP212
• 字数: 2104字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5277.2004.02.011

摘要

采用真空镀膜技术制备TiO2与TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:掺杂适量MgF2的TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,工作频率为100 Hz时,在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李旦振	福州大学光催化研究所	41	1213	18.0	34.0
2	林永钟	福建师范大学物理与光电信息科技学院	13	97	4.0	9.0