等离子体技术净化CF4及其生成物机理的探讨

• 作者: 于继荣 杨英杰 黄光周
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 等离子体技术 有害气体净化 环境保护
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 225-226,231
• 页数: 3页
• 分类号: TN405.98+2|X511
• 字数: 1855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2004.03.016

摘要

讨论了利用等离子体技术净化CF4及其生成物的方法,分析了净化机理.由四极质谱仪的分析结果发现,CF4等生成物的谱峰强度随射频(RF)功率的增加几乎线性地减小.RF功率达到1.8 kW时,已检测不到CF4及其生产物对应的各个谱峰.在净化装置中放置CaO作为吸附剂,在室温下CaO对F有明显的净化作用.采用等离子体技术和化学吸附相结合处理有害气体的方法对环境保护有实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄光周	华南理工大学电子与信息学院	26	189	9.0	13.0
2	于继荣	华南理工大学电子与信息学院	16	84	5.0	8.0
3	杨英杰	华南理工大学电子与信息学院	6	21	2.0	4.0