小型等离子清洗/刻蚀机的应用

• 作者: 唐明 郑亮
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子清洗 刻蚀 表面处理
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 4899字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.07.010

摘要

综述了等离子体产生的原理、小型等离子清洗/刻蚀机的特点以及在各加工行业的应用,特别是其在科学研究领域的独特功能:等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等;论述了小型等离子清洗/刻蚀机在TEM、SEM、电镜等方面的特殊应用,并讨论了等离子处理的特殊性及其在现代科学研究中的不可替代性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑亮		6	16	3.0	3.0
2	唐明		2	5	1.0	2.0