ITO成膜法与离子成膜装置

• 作者: 冯有才
• 来源期刊: 显示器件技术
• 学科: 工学
• 关键词: ITO膜 成膜法 离子成膜装置 有机EL显示器 PCS原理
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TN141.5

摘要

ITO(Indium Tin Oxide)膜，广泛地应用于个人电脑、手机、液晶电视机等平板显示器的液晶显示装置上，而且其需求量呈越发增加之趋势。特别在最近，作为应用在有机EL显示器上的透明电极膜，ITO膜更加受到观注。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯有才	彩虹集团外事科	6	0	0.0	0.0