适用于电力器件的磷扩散模型

• 作者: 刘红 吴春瑜 孙传邦 尹常永 王辉 郭天雷
• 来源期刊: 辽宁大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 电力器件 磷扩散 MATHMATICA 4 SUPREM-IV.GS 模型 模拟
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 358-362
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.4
• 字数: 3516字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2004.04.019

摘要

针对电力半导体器件的特性和工艺特点,提出了一种适用于电力器件的磷扩散模型并应用MATHMATICA 4对该模型进行计算,计算的结果与SUPREM-IV.GS模拟软件在相同的工艺条件下得到的结果趋于一致.并且与实际扩散结果接近.此种方法为电力器件其他杂质的扩散工艺过程的模拟提供了一定指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴春瑜	辽宁大学物理系	56	150	6.0	9.0
2	刘红	辽宁大学物理系	41	189	8.0	12.0
3	郭天雷	辽宁大学物理系	2	3	1.0	1.0
4	尹常永	辽宁大学物理系	1	3	1.0	1.0
5	王辉		1	3	1.0	1.0
6	孙传邦		1	3	1.0	1.0