基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器

• 作者: 安毓英 李存志 林晓春 胡志敏 郑亚娥 郭艳艳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 二元光学分束器 薄膜应力 现场传感器 测量精度
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1491-1495
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 字数: 3803字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.11.027

摘要

介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像,利用Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器.传感器是以二维Dammann光栅和Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的.该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106Pa,精度优于4.27%.它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点.与计算机自动控制系统相结合,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑亚娥	西安电子科技大学理学院	3	19	2.0	3.0
2	安毓英	西安电子科技大学技术物理学院	124	823	15.0	21.0
3	林晓春	西安电子科技大学技术物理学院	36	305	9.0	16.0
4	郭艳艳	西安电子科技大学理学院	8	40	4.0	6.0
5	李存志	西安电子科技大学理学院	18	97	6.0	9.0
6	胡志敏	西安电子科技大学技术物理学院	3	24	2.0	3.0