微机械光可调式光衰减器的制备及动态测试

• 作者: 彭德艳 忻佩胜 朱自强 杨昌利 茅惠兵 赖宗声
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 可调式光衰减器 固有频率
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TN929
• 字数: 2766字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.01.003

摘要

主要讨论了具有机械式抗反射开关(即MARS)结构的新型微机械可调式光衰减器.MARS结构可调式光衰减器由表面微机械工艺制备.当器件被正弦信号激励时,其响应信号也是正弦信号,但两者的相位相反. 同时,微机械可调式光衰减器有一系列的固有频率.测量表明,器件反射率的上升时间为5 μs,下降时间为3.3 μs.如果器件由线性变化的锯齿信号驱动,当驱动信号小于23 V时,器件的反射率变化也是线性的,当驱动信号大于23 V时,器件的反射率响应出现非线性,信号越大,非线性越明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	忻佩胜	华东师范大学信息科学技术学院	16	115	7.0	10.0
2	朱自强	华东师范大学信息科学技术学院	40	272	11.0	13.0
3	赖宗声	华东师范大学信息科学技术学院	136	779	13.0	18.0
4	茅惠兵	华东师范大学信息科学技术学院	12	117	6.0	10.0
5	杨昌利	华东师范大学信息科学技术学院	9	69	4.0	8.0
6	彭德艳	华东师范大学信息科学技术学院	8	14	2.0	3.0