影响纳米压入测试结果的因素

• 作者: 张泰华
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米压入 熔融硅 接触零点 压针 吸湿 粗糙度
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 437-442
• 页数: 6页
• 分类号: O482.6|O346.1
• 字数: 4033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4888.2004.04.007

摘要

纳米硬度计,又称深度测量压入仪.该仪器在刚性压针上施加特定载荷,同时记录压入试样深度.此技术广泛应用于微纳米尺度力学性能的研究.以MTS Nano Indenter○ RXP为测试手段,参考试样熔融硅为研究对象,进行了不同压入深度的测试.结果显示,硬度和模量有随压入深度减小而增大的趋势.分析了接触零点的确定、压针尖端缺陷、试样表面的吸湿和粗糙度、弹塑性转变等因素对测试结果的影响.在压入深度为微米和亚微米量级时,上述因素对测试结果无显著影响;而在纳米量级时,有显著影响.所以,当压入深度为几十纳米时,纳米压入测试结果的可靠性值得注意.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张泰华	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	39	1013	14.0	31.0