日本关东电化工业公司扩大生产能力

• 来源期刊: 无机化工信息
• 学科: 工学
• 关键词: 扩大生产能力 日本关东电化工业公司 扩产 产品 半导体生产 三氟化氮 清洁 气体
• 年，卷（期）: wjhgxx_2004,（4）
• 页码范围: 43
• 页数: 1页
• 分类号: TQ126.35

摘要

日本关尔电化工业公司正在三氟化氮的生产能力，产品主要用于半导体生产中的清洁气体。扩产后，生产能力将提高30％，达到850吨／年。