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摘要:
日本关尔电化工业公司正在三氟化氮的生产能力,产品主要用于半导体生产中的清洁气体。扩产后,生产能力将提高30%,达到850吨/年。
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文献信息
篇名 日本关东电化工业公司扩大生产能力
来源期刊 无机化工信息 学科 工学
关键词 扩大生产能力 日本关东电化工业公司 扩产 产品 半导体生产 三氟化氮 清洁 气体
年,卷(期) wjhgxx_2004,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 43
页数 1页 分类号 TQ126.35
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研究主题发展历程
节点文献
扩大生产能力
日本关东电化工业公司
扩产
产品
半导体生产
三氟化氮
清洁
气体
研究起点
研究来源
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期刊影响力
无机化工信息
季刊
天津市红桥区丁字沽三号路85号
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