钛酸锶钡薄膜的制备及其光学特性研究

• 作者: 刘江华 张柏顺 江娟 章天金
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 BST薄膜 溶胶–凝胶法 微观结构 光学特性
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 1626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.12.001

摘要

用溶胶–凝胶法在石英和Al2O3单晶衬底上沉积Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜,应用XRD与SEM表征了BST薄膜的晶化行为和表面形貌.在700℃退火1 h的薄膜,其表面光滑、晶粒大小分布均匀、无裂缝、无针孔.应用双光束光度计,在200~1000 nm的波长范围测量了薄膜的透射光谱,并根据"包络法"理论计算薄膜的折射指数.结果表明,当波长从近红外范围(1 000 nm)降低到可见光范围(430 nm)时,薄膜的折射率从2.16增加至2.35,当波长降低到紫外范围时,薄膜的折射率迅速增加,在365 nm处n =2.67.实验还发现沉积在Al2O3衬底上的BST的能隙约为3.48 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学物理学与电子技术学院	82	321	11.0	14.0
2	张柏顺	湖北大学物理学与电子技术学院	24	152	7.0	11.0
3	刘江华	湖北大学物理学与电子技术学院	9	98	7.0	9.0
4	江娟	湖北大学物理学与电子技术学院	32	130	7.0	10.0