激光在MEMS键合技术中的应用

• 作者: 张剑铭 徐晨 杨道虹 沈光地 董典红 阳启明
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 硅直接键合 激光
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 143-146
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.02.018

摘要

键合技术已经广泛地应用于微电子机械系统(MEMS)领域,但传统的键合技术由于其缺点,限制了其应用范围,而激光以其独特的优势在键合技术中得到了人们的重视.文章介绍了激光在键合技术中的应用及其原理,以及今后发展的方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晨	北京工业大学电信学院	63	295	9.0	13.0
2	沈光地	北京工业大学电信学院	192	1444	18.0	29.0
3	阳启明	北京工业大学电信学院	3	18	3.0	3.0
4	张剑铭	北京工业大学电信学院	11	85	6.0	9.0
5	杨道虹	北京工业大学电信学院	11	63	5.0	7.0
6	董典红	北京工业大学电信学院	2	11	2.0	2.0