Ga2O3:Mn电致发光薄膜的微结构及光谱特性研究

• 作者: 张修太 黄蕙芬
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: 电致发光 电子束蒸发 Ga2O3∶Mn薄膜 晶体结构 荧光分光光度计
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 581-584
• 页数: 4页
• 分类号: O484|O482
• 字数: 2872字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2004.04.011

摘要

采用电子束蒸发法在硅衬底或BaTiO3陶瓷基片上沉积了Ga2O3:Mn电致发光膜,并进行了不同温度热处理,制备了电致发光器件.用X射线衍射(XRD)分析了Ga2O3:Mn薄膜晶体结构;用荧光分光光度计测试了电致发光器件的发射光谱.研究了Ga2O3:Mn薄膜的晶体结构与其光谱特性之间的关系.实验结果表明,Ga2O3:Mn薄膜结晶度随热处理温度的提高而提高,且晶体结构和结晶取向也随之改变;经500 ℃热处理的Ga2O3:Mn薄膜电致发光器件发绿光,其光谱主峰分布在495～535 nm之间,且随驱动电压增高,谱峰出现蓝移现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄蕙芬	东南大学电子工程系	10	63	5.0	7.0
2	张修太	东南大学电子工程系	3	18	3.0	3.0