添加元素对TiMeXN多元膜XPS谱的影响

• 作者: 匡同春 成晓玲 杨元政 王国庆 白晓军 胡社军 谢光荣 谢致薇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多元膜 真空阴极电弧沉积 X射线光电子能谱
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 208-212,215
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.444|TG174.445
• 字数: 2640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.03.012

摘要

采用XPS方法研究了TiMeXN多元膜内各元素的化学状态,结果表明,添加元素改变了TiN中Ti元素特征峰的位置和形状.首先,使Ti、N峰强度增大,O峰强度减弱;其次,使Ti2p1/2峰、Ti2p3/2峰和N 1 s的双峰现象基本消失,氮化物薄膜中Ti的化学状态基本趋于一致;再次,随着微量元素总含量的增高,Ti2p峰的多重分裂值减小,直至使Ti2p1/2峰和Ti2p3/2峰部分重迭.在多元膜中,微量添加元素本身以"正离子"或"负离子"的形式存在,形成微量第二相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡社军	广东工业大学材料与能源学院	66	842	14.0	26.0
2	谢光荣	广东工业大学材料与能源学院	82	729	14.0	23.0
3	成晓玲	广东工业大学实验研究中心	84	1166	15.0	32.0
4	谢致薇	广东工业大学材料与能源学院	85	436	12.0	15.0
5	杨元政	广东工业大学材料与能源学院	123	648	13.0	20.0
6	王国庆	广东工业大学轻工化工学院	32	465	12.0	21.0
7	匡同春	广东工业大学实验研究中心	44	550	11.0	22.0
8	白晓军	广东工业大学材料与能源学院	33	402	10.0	19.0