扫描探针显微镜及其在光盘开发中的应用

• 作者: 李伟权
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 研究与开发 盘基 表面轮廓 无损测量 刻槽 表面形貌测量 不规则变化 半高宽 母盘
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】本文简要介绍了扫描探针显微镜的原理和技术特点,并详细地阐述了它在光盘研究与开发中的应用。一、扫描探针显微镜扫描探针显微镜(ScanningProbeMicroscope),简称SPM。SPM技术是80年代发展起来的一种突破性的

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1	李伟权		3	0	0.0	0.0