大功率底发射VCSEL出光窗口增透膜的研究

• 作者: 刘云 初国强 套格套 孙艳芳 宁永强 晏长岭 王立军 秦莉 金珍花
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 大功率底发射VCSEL 增透膜 等离子体辅助电子束蒸发 功率转换效率
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 445-447
• 页数: 3页
• 分类号: TN248
• 字数: 1874字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.06.009

摘要

在大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)出光窗口镀制了HfO2增透膜,其透过率达到99.9%.对镀膜材料以及透过率方面进行了比较,介绍了增透膜的制作过程.镀膜后直径为600μm的底发射VCSEL获得了室温连续输出功率为1.63 W,功率转换效率提高了6%.