一种用于标准单元版图交替移相掩模相位兼容性规则检查的工具

• 作者: 严晓浪 史峥 陈晔 高根生
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 交替移相掩模 相位冲突图 标准单元
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 601-606
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.05.024

摘要

介绍了一套基于相位冲突图的生成和处理的新方法,可以准确、全面地对由传统方法设计的标准单元版图(暗场)进行检查.基于此方法的软件工具能够检查标准单元版图,找出不符合交替移相掩模设计要求的图形,并给出相关的修改建议.实验结果证实了该工具的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晔	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	20	131	6.0	11.0
2	史峥	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	51	176	7.0	11.0
3	严晓浪	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	246	1634	19.0	29.0
4	高根生	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	6	41	3.0	6.0