MISiC氢敏传感器物理模型及特性模拟

• 作者: 吴海平 徐静平 钟德刚 韩弼 黎沛涛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属-绝缘体-SiC(MISiC) 肖特基势垒二极管 气体传感器 模拟
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: TN311.7
• 字数: 3154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.01.008

摘要

分析了金属-绝缘体-SiC(MISiC)肖特基势垒二极管(SBD)气体传感器的响应机理,将SBD热电子发射理论和氢吸附-解吸理论相结合,通过考虑势垒高度调制效应以及理想因子随外界条件的变化,建立了MISiC SBD气体传感器物理模型,模拟结果与实验十分吻合.采用此模型,分析了器件特性与绝缘层厚度的关系,并在灵敏度、可靠性和工作电流/电流分辨率诸因素之间其进行了优化设计,对于300 ℃左右的高温应用,确定出最佳绝缘层厚度为2～2.3 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐静平	华中科技大学电子科学与技术系	88	358	9.0	13.0
2	黎沛涛	香港大学电子电机电子工程系	11	77	5.0	8.0
3	韩弼	华中科技大学电子科学与技术系	4	34	4.0	4.0
4	钟德刚	华中科技大学电子科学与技术系	22	118	7.0	10.0
5	吴海平	华中科技大学电子科学与技术系	5	45	3.0	5.0