金刚石膜MEMS及其应用

• 作者: 崔玉亭
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 微机电系统 微型传感器 微型机械技术 化学汽相淀积
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.18
• 字数: 1837字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.07.006

摘要

由于金刚石膜优异的力学、电学、热学及化学性质,使其成为MEMS中的微型传感器和微型结构的重要的首选材料.利用金刚石膜作为MEMS材料和各种微型机械的技术正在引起极大的兴趣.本文主要综述了金刚石MEMS器件的技术和应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔玉亭	商丘师范学院物理系	9	25	3.0	4.0