新型微波ECR-PECVD装置的研制

• 作者: 张永清 粟亦农 阴生毅 陈光华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 波导 磁场 永磁体 Si:H薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.01.008

摘要

介绍一台新型的ECR-PECVD装置.这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,使整个装置结构明显简化.为提高装置的微波转换效率,通过计算机仿真微波场在等离子体室的分布,选择和采用了一种新型的矩形耦合波导.应用这一装置分解H2稀释的SiH4气体以沉积a-Si:H薄膜,获得了2 nm/s以上的高沉积速率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈光华	北京工业大学材料科学与工程学院	65	396	11.0	16.0
2	阴生毅	北京工业大学材料科学与工程学院	9	34	3.0	5.0
3	张永清	中科院电子所微波器件中心	2	4	1.0	2.0
4	粟亦农	中科院电子所微波器件中心	1	3	1.0	1.0