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摘要:
介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式,包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结微加速度计发展中存在的一些问题,并提出一些解决关键问题的措施,预测微加速度计未来的发展趋势.
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内容分析
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关键词热度
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文献信息
篇名 微加速度计研究的进展
来源期刊 国防科技大学学报 学科 工学
关键词 微加速度计 微机电系统 制作工艺
年,卷(期) 2004,(6) 所属期刊栏目 电子工程·机电工程
研究方向 页码范围 34-37
页数 4页 分类号 TH824+.4
字数 2234字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-2486.2004.06.008
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 吴学忠 国防科技大学机电工程与自动化学院 70 934 18.0 28.0
2 李圣怡 国防科技大学机电工程与自动化学院 186 3101 27.0 44.0
3 刘宗林 国防科技大学机电工程与自动化学院 10 180 5.0 10.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
微加速度计
微机电系统
制作工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国防科技大学学报
双月刊
1001-2486
43-1067/T
大16开
湖南省长沙市开福区德雅路109号
42-98
1956
chi
出版文献量(篇)
3593
总下载数(次)
5
总被引数(次)
31889
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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