数字投影式焦度计误差分析及校正方法

• 作者: 廖海洋 杨并上 王涵
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 数字投影式焦度计 随机误差 系统误差 误差校正
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 测试技术与设备
• 页码范围: 136-139
• 页数: 4页
• 分类号: TS959.6
• 字数: 2374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.030

摘要

介绍一种用于测量球镜顶焦度和球柱镜顶焦度的新型数字投影式焦度计的测量原理及结构特点,主要分析了仪器的系统误差和随机误差,并提出了一种动态基准存储技术有效消除仪器产生系统误差的方法.实验证明,采用这种方法能够使仪器的测量精度达到士0.03 m-1.