RF MEMS开关及其抗连续波烧毁功率的测试与分析

• 作者: 吕苗 杨文钊
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS开关 抗连续波烧毁功率
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS专辑
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TM564|TN406
• 字数: 2021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.05.009

摘要

MEMS开关的功率能力是MEMS开关使用中必须考虑的一个指标,本文测试了我所研制的RF MEMS开关的抗连续波烧毁功率性能,其抗连续波烧毁功率达到35.1dBm.解剖分析了烧毁样品,对功率烧毁机理进行了进一步的讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨文钊	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	1	1.0	1.0
2	吕苗	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	34	4.0	5.0