NVD法制备TiO2薄膜及形貌的研究

• 作者: 吴春萍 李玉华 陈敬超 鲜春桥
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: 超声雾化气相沉积法(NvD) TiO2薄膜 前驱体 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 光催化技术与材料
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 字数: 1851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2004.z2.023

摘要

采用一种新的制备薄膜的技术--超声雾化气相沉积法(NVD),初步研制了一套采用该法制备薄膜的设备,已成功地用该设备制备出了TiO2薄膜.对薄膜形貌进行了初步的分析和研究,并用拉曼光谱对其进行了定性分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈敬超	昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室	178	1833	21.0	34.0
2	吴春萍	昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室	6	97	4.0	6.0
3	鲜春桥	昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室	6	97	4.0	6.0
4	李玉华	昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室	8	98	4.0	8.0