PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展

• 作者: 刘红梅 曹茂盛 邱成军
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: PZT 薄膜 MEMS
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174.75
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2004.06.009

摘要

主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹茂盛	哈尔滨工程大学材料科学与工程系	30	669	12.0	25.0
3	邱成军	黑龙江大学电子工程学院	35	231	6.0	14.0
7	刘红梅	黑龙江大学电子工程学院	12	58	4.0	7.0