W18Cr4V高速钢基体的TiN化学气相沉积

• 作者: 王豫 陈伟
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 氮化钛 沉积速率
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 表面改性技术
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2004.05.003

摘要

研究了气体总流量、沉积温度、TiCl4蒸发温度、氮氢比等工艺参数对W18Cr4V高速钢基体TiN沉积速率的影响.确定了沉积过程分别为扩散控制区和表面过程控制区的试验条件.在表面过程控制区域,测定了本试验条件下W18Cr4V钢基体TiN化学气相沉积的表面过程表观活化能值为137.23kJ/mol.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈伟	安徽工业大学材料学院	7	58	4.0	7.0
2	王豫	安徽工业大学材料学院	15	202	8.0	14.0