基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜

• 作者: 余洪斌 张大成 李婷 竺子民 陈海清
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 响应频率
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1154-1158
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 2746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.09.021

摘要

给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法,并且通过工艺流片制造出有效反射面积为30mm×30mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜.测试得到的镜面变形-电压数据显示其与模拟结果具有很好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海清	华中科技大学光电子工程系	95	682	14.0	18.0
2	余洪斌	华中科技大学光电子工程系	23	160	8.0	11.0
3	竺子民	华中科技大学光电子工程系	9	85	7.0	9.0