一种平板式MEMS RF 射频开关的设计

• 作者: 冯勇建 卞剑涛 张睿
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电驱动 射频开关
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 87-88
• 页数: 2页
• 分类号: TH911
• 字数: 1487字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2004.10.032

摘要

介绍了一种实用的平板电容式MEM SRF 射频开关.研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法,在此基础上设计了相应的MEMS加工工艺流程,并给出了具体的MEMS工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学机电工程系	103	953	15.0	26.0
2	卞剑涛	厦门大学机电工程系	10	46	5.0	6.0
3	张睿	厦门大学机电工程系	6	24	1.0	4.0