RF-PCVD法制备条件对纳米TiO2微晶的影响

• 作者: 孙彦平 展红全 徐海萍 王俊文
• 来源期刊: 钛工业进展
• 关键词: 高频等离子体 CVD 纳米 二氧化钛 数学模拟
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 材料研究与开发
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 字数: 3060字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9964.2004.05.007

摘要

采用高频等离子体化学气相沉积法(RF-PCVD)法,以TiCl4 + O2为反应体系,制备出了纳米级的TiO2粉体.TEM、XRD等结果表明,颗粒基本呈球形,粒径小于100 nm.从模拟结果和实验结果可以看出:随着汽化温度升高,停留时间延长,二氧化钛颗粒粒度逐渐增大,同时金红石含量也增加.加入AlCl3晶型转化剂,有助于锐钛相向金红石相转化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙彦平	太原理工大学化工学院	136	1387	19.0	29.0
2	王俊文	太原理工大学化工学院	56	388	11.0	17.0
3	徐海萍	太原理工大学化工学院	13	113	6.0	10.0
4	展红全	太原理工大学化工学院	2	12	2.0	2.0