电光检测技术空间分辨率的研究与进展

• 作者: 张晓婷 李延臣 李海兰 贾刚 陈占国
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 电光检测 空间分辨率 集成电路测试
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 18-20,25
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 3011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2004.01.004

摘要

概述了电光检测技术空间分辨率的发展.为适应集成电路工艺水平的提高,电光检测技术必须提高空间分辨率和电压灵敏度.介绍了近年来开展的提高空间分辨率到亚微米量级的研究,提出了未来空间分辨率进一步提高的设想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓婷	吉林大学电子科学与工程学院	6	18	3.0	3.0
2	李海兰	吉林大学电子科学与工程学院	16	44	3.0	6.0
4	陈占国	吉林大学电子科学与工程学院	11	20	3.0	3.0
5	贾刚	吉林大学电子科学与工程学院	14	120	4.0	10.0
8	李延臣		1	5	1.0	1.0