掺杂浓度对AZO薄膜结构和性能的影响

• 作者: 夏志林 葛春桥 郭爱云
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 AZO薄膜 溶胶-凝胶 光电性能
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TM23
• 字数: 2300字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.09.012

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基片上制备Al3+掺杂型的ZnO(AZO)透明导电薄膜,对薄膜进行了XRD和SEM分析,并对其光电性能作了详细的研究.结果表明:薄膜为纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长;薄膜的可见光透过率可达80%以上;Al3+掺杂型的ZnO透明导电薄膜的电阻率为1.5×10-2～8.2×10-2 Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏志林	武汉理工大学材料科学与工程学院	29	159	7.0	12.0
2	葛春桥	武汉理工大学材料科学与工程学院	7	90	5.0	7.0
3	郭爱云	武汉理工大学材料科学与工程学院	10	84	6.0	9.0