一种新型的非接触式掩膜板台阶高度测量仪

• 作者: 徐毅 林德教 柳忠尧 殷纯永
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微电子掩模板 共焦显微术 外差测相 轴向响应
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3058字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2004.01.001

摘要

提出一种外差干涉与共焦显微技术融合用于微电子掩膜板台阶高度测量的方法,同时实现了高分辨率(亚纳米)与较大量程(5 μm以上)测量,构成了双频干涉共焦显微系统DICM.实验比较了3组物镜数值孔径NA、放大倍数β条件下的共焦显微系统轴向响应曲线,证实了纯共焦方法在轴向分辨率提高方面的局限性,但其光强变化足以区分干涉条纹的级次.将该系统应用于微电子掩模板台阶高度标准的测量,实验表明DICM的测量值与国际比对结果相符合,系统具有良好的复现性,极限偏差小于5 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷纯永	清华大学精密仪器系	43	662	14.0	24.0
2	林德教	清华大学精密仪器系	10	208	7.0	10.0
3	徐毅		15	320	10.0	15.0
4	柳忠尧	清华大学精密仪器系	5	48	3.0	5.0