真空镀膜设备用磁流体密封组件设计使用中的若干问题探讨

• 作者: 张振厚
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁流体 密封技术 真空镀膜
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|TB743
• 字数: 2846字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.01.010

摘要

就真空镀膜设备中应用磁流体密封技术的若干问题进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张振厚		12	204	6.0	12.0