Ti6Al4V合金等离子体基离子注氧层XPS研究

• 作者: 孙明仁 李金龙 马欣新
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 医学
• 关键词: 等离子体基离子注入 XPS分析 化学态
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 页码范围: 1615-1620
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.2|TG178|R318
• 字数: 2165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2004.09.031

摘要

采用等离子体基离子注氧技术(O2-PBⅡ)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,实验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为10、20、30 kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入;用XPS对离子注氧层的深度、成分及化学结构进行了系统的分析.结果表明:随着注入离子能量的增加,Ti6Al4V合金表面改性层的深度明显增加,改性层的外层由一定厚度的TiO2组成,外层与内层基体之间存在Ti2O3和TiO;Al元素在改性层的外层以氧化物形式存在,且该氧化物趋于表面生长;在表面改性层的外层未发现V及其氧化物.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马欣新	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	57	307	10.0	14.0
2	孙明仁	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	20	115	6.0	9.0
3	李金龙	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	9	44	5.0	6.0