基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统

• 作者: 樊尚春 蔡晨光
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微谐振式传感器 谐振频率 品质因数 线性调频信号 线性调频Z变换
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器——第八届敏感元件与传感器学术会议论文选登
• 页码范围: 5-6,18
• 页数: 3页
• 分类号: TP216
• 字数: 2019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2004.04.003

摘要

给出了基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统的组成及其采用的一种全新的频率特性的测试、分析方法.针对硅微谐振式传感器频率特性(谐振频率和品质因数)测量的特殊性,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换(CZT)为频谱分析工具的系统频率特性的动态测试方法,使得该系统能够高效、精确地测量机械式谐振传感器的频率特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学测控系	161	841	15.0	21.0
2	蔡晨光	北京航空航天大学测控系	9	48	5.0	6.0