基于SPM技术的表面纳米计量

• 作者: 党学明 陈宇航 黄文浩
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面 纳米计量 扫描探针显微镜
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 1-9,25
• 页数: 10页
• 分类号: TH71
• 字数: 6300字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.01.001

摘要

用扫描探针显微镜(SPM)技术观察三维表面形态,可以达到纳米级甚至原子量级的分辨率,所以SPM技术在计量方面有着广阔的应用前景.20年来,人们采用各种理论和方法来提高SPM的精度和稳定性,以适应表面计量领域不断提出的新要求.本文在总结表面规范与建模、高分辨率和高时间稳定性测量、图像解释与表面重建、SPM误差和校准以及纳米对准技术等研究结果的基础上,对今后发展的趋势作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宇航	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	20	96	6.0	8.0
2	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
3	党学明	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	5	51	4.0	5.0