合肥同步辐射反射率测量装置

• 作者: 卢启鹏 徐仲 王兆岚 薛松 邵景鸿
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 同步辐射 反射率计 测量
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 480-484
• 页数: 5页
• 分类号: TH741
• 字数: 3229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.05.006

摘要

分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计系统.该反射率计工作波长5～100 nm,角分辨率0.005°,样品台可做六维调整,样品与探测器采用同轴扫描馈入机构,大大提高了扫描运动及测量精度.样品和探测器均具有平移和旋转两种功能,并且既可独立运动,又可θ-2θ同步联动,样品和探测器均可退出光路,通过束线差分系统和反射率计差分馈入系统可充分保证10 -6 ～10 -8 Torr的真空度.对样品的反射率测试可分波长扫描和角度扫描两种方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王兆岚	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	37	3.0	4.0
2	薛松	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	210	8.0	12.0
3	卢启鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	63	574	13.0	22.0
4	徐仲	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	33	2.0	3.0
5	邵景鸿	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	20	1.0	1.0