64cm FS CPT用弹簧片作业性能恶化的原因分析及改良措施

• 作者: 刘洵 张树兵 王建平
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 弹力 自由高度 S尺寸
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 69,72
• 页数: 2页
• 分类号: TN141.3+1
• 字数: 1794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2004.01.019

摘要

通过对64cm FS PM组件荫罩装卸困难、作业性能恶化的调查分析,确定弹簧片弹力过大是主要原因,为此,在不增加制造成本及不带来其它负面影响的前提下,减小弹簧片组件自由高度及S尺寸,作业性能得到明显改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建平		12	2	1.0	1.0
2	刘洵		4	1	1.0	1.0
3	张树兵		2	0	0.0	0.0