盘型分子泵3D过渡流特性

• 作者: 于治明 刘波 巴德纯 杨乃恒 王晓冬
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 盘型分子泵 过渡流 抽气系数 实验 模拟
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TB71|O242
• 字数: 3800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.01.003

摘要

采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响.指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径.最后,进行了实验研究和模拟研究结果的对比,证明模拟计算结果在允许的误差范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘波	东北大学真空与流体工程研究中心	29	104	7.0	8.0
3	王晓冬	东北大学真空与流体工程研究中心	64	366	10.0	15.0
4	巴德纯	东北大学真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
5	杨乃恒	东北大学真空与流体工程研究中心	40	356	12.0	17.0
6	于治明	沈阳航空工业学院安全工程系	5	46	5.0	5.0