点扫描激光共焦显微镜物镜参数的确定

• 作者: 李冰 李明周 王昭
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 共焦显微镜 物镜 数值孔径
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TH742
• 字数: 2309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2004.03.019

摘要

在设计点扫描激光共焦显微镜测量系统时,物镜参数的选择是至关重要的,因为它的数值孔径大小直接影响着系统的测量精度.本文对系统测量精度达到1μm时物镜参数的选择进行了详细的阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李冰		14	15	2.0	3.0
2	王昭		63	763	13.0	26.0
3	李明周		2	8	1.0	2.0