微电机粗糙表面粘附仿真分析

• 作者: 田文超 贾建援
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机 粗糙表面 粘附力 微观连续介质修正理论
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 33-34,40
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1978字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2004.10.012

摘要

针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面 "截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果,从而为微电机的结构设计提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	田文超	西安电子科技大学机电工程学院	47	271	10.0	13.0