精密合成碳膜电位器电阻体修刻误差分析及补偿

• 作者: 曹克伟 李佳 臧春城
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 合成碳膜电位器 误差分析 误差补偿
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 标准与检测
• 页码范围: 115-117,136
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 3728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2004.02.050

摘要

结合精密合成碳膜电位器电阻体修刻机的研发,在给出合成碳膜电位器修刻系统的组成及修刻原理的基础上,从硬件和软件等方面分析了系统内影响修刻精度的各种因素,并提出了相应的误差补偿方法.文章最后给出了误差补偿的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李佳	天津大学机械工程学院	76	798	17.0	25.0
2	曹克伟	天津大学机械工程学院	15	147	8.0	12.0
3	臧春城	天津大学机械工程学院	3	24	3.0	3.0